?產品介紹

德國Freiberg Instruments（弗萊貝格儀器）公司的Omega/Theta XRD（X射線單晶定向儀-Omega掃描）主要針對半導體晶體材料和光學材料生產研發(fā)，該儀器采用*的Omega掃描方法測定晶體結構并檢測單晶取向，具有成熟的單晶X射線衍射儀（XRD）技術，且可集成至全自動生產線中，是一臺可測大直徑的全自動晶圓和鑄錠定向檢測分揀設備。

?技術特點

 --全自動的垂直三軸衍射儀，使用Omega掃描和Theta掃描方法以及搖擺曲線測定各種晶體的方向。配備可容納長達450毫米和30公斤的樣品及樣品架；

 --自動化測量，并通過定制軟件進行訪問。利用Omega掃描，可在晶體旋轉(5秒)中確定完整的晶格方向。Theta掃描更加靈活，但每次掃描只產生一個方向分量；

 --準確地確定傾斜角度，Theta掃描精度達到0.001°；

 --模塊化系統(tǒng)，并配備了多功能需求擴展。

?行業(yè)應用

具有多種幾何形狀和大小的樣品 

根據材料和產量的不同，晶體樣品可以表現(xiàn)出多種尺寸和幾何形狀。Omega/Theta X射線衍射儀（X射線單晶定向儀-Omega掃描）可以處理大塊鋼錠或鋼球和實驗合成的微小晶體。

非線性光學材料(NLO)：晶體質量和定向 

與典型的無機金屬、半導體和絕緣體相比，NLO材料具有更復雜的晶體結構和更低的對稱性。這些晶體通常被切割成尺寸在毫米范圍內的小棒，而對這種小晶體的表面質量測定常常可以揭示晶體內部的結構缺陷和裂紋。通過對Omega/Theta的設計進行的一些特殊的修改，我們的定向儀能夠確定許多NLO材料，如LBO, BBO和TeO2的的晶向。

平面方向的標記和測量 

Omega掃描能夠在一次測量中確定完整的晶體方位。因此，平面方向可以直接識別。這是一個有用的功能，以標記在平面方向或檢查方向的單位或缺口。

搖擺曲線:晶體表面評價 

搖擺曲線測量對晶格內的缺陷和應變場很敏感。將這種技術與映射階段相結合，可以掃描晶體表面并確定缺陷區(qū)域。通過裝備一個具有映射階段和雙晶體的Omega/Theta衍射儀，可以直接測量晶體表面某一反射的搖擺曲線映射。

如下圖顯示的結果，這種映射的碳化硅晶圓片的內部呈現(xiàn)出兩到三倍于搖擺曲線的FWHM。這可能與表面劃痕或生長缺陷有關。