日韩欧美一区二区三区在线_精品国产网站在线观看_欧美日韩精品系列_在线观看av一区二区_日韩欧美在线观看一区二区三区_欧美精品一区二区在线观看_色爱区综合激月婷婷_欧美色国产精品_91国产视频在线观看_{关键词10

技術文章

TECHNICAL ARTICLES

當前位置:首頁技術文章應用分享|少子壽命測試儀(MDP)針對碳化硅器件性能優化的關鍵作用

應用分享|少子壽命測試儀(MDP)針對碳化硅器件性能優化的關鍵作用

更新時間:2024-10-30點擊次數:1828

 

 

 

1

應用背景

 

 

 

 

在微電子半導體行業日新月異的現狀,材料質量的提升與器件性能的優化成為推動技術進步的關鍵因素。碳化硅(SiC)作為一種新興的高性能半導體材料,以其優異的導熱性、高擊穿電場強度及耐高溫特性,在電力電子、新能源汽車、航天航空等領域展現出巨大的應用潛力。然而,碳化硅器件的性能優化并非易事,其涉及到材料質量、加工工藝、器件設計等多個層面的精細控制。在這個過程中,少數載流子壽命(少子壽命)作為評價半導體材料質量的重要參數之一,其精確測量與深度分析顯得尤為重要。

 

 

 

2

儀器介紹

 

 

 

 

德國弗萊貝格儀器有限公司(Freiberg Instruments),作為一家快速、無損電氣表征工具供應商,始終致力于技術創新與品質優異。其MDP(微波檢測光電導性)少子壽命測試儀,作為行業內前端的分析設備,以其非接觸、無損、高靈敏度的特性,在碳化硅器件性能優化中發揮著不可替代的關鍵作用。本文旨在探討MDP少子壽命測試儀在碳化硅器件性能優化中的重要作用,德國弗萊貝格儀器公司共同推動半導體技術的進步與發展。

 

 

 

3

應用分享

 

 

 

碳化硅器件性能優化:結合少子壽命檢測結果,可以指導SiC器件的設計和制造過程,優化器件性能,提高成品率和可靠性。

 在超高壓工作條件下前景廣闊的雙極型SiC器件中,載流子壽命是影響器件性能的一個重要參數。表面復合是載流子壽命的限制因素之一,器件的設計和制造工藝的開發需要表面復合速度的定量值。

然而,在雙極SiC器件的開發中,有幾個困難需要克服,例如抑制退化和改進pn結的制造技術。其中一個重要的困難是控制載流子壽命。載流子壽命直接影響電導率調制行為;因此,器件的導通電阻和開關損耗取決于載流子壽命。

通過少子壽命值,確定了4H-SiC的Si面和C面的表面復合速度(S)及其溫度依賴性,研究者相信對表面復合速度定量值的全方面調查和討論將支持未來雙極SiC器件設計和開發的改進3。 

隨著SiC型IGBT的耐壓越來越高,要求少子壽命足夠高,以進行有效的電導調制,從而降低器件的正向導通壓降和導通電阻,但是同時也追求更高的開關速度,即希望反向恢復時間越短越好,這又要求少子壽命足夠低。如何在低的正向導通壓降和低的開關損耗之間進行折衷,是IGBT設計的關鍵。 

通過選擇合適的緩沖層厚度,通過局部控制器件漂移區和緩沖層的壽命,進行4H-SiC型n-IGBT功耗的優化。

4H-SiC n-IGBT正向導通壓降和關斷損耗的權衡曲線

 

在權衡曲線圖中,位于左上角的點所對應的壽命參數雖然正向導通壓降很低,但是于關斷損耗過大,不符合優化的條件;而位于右下角的點正向導通壓降很高,即使損耗很低,也不是選擇的合理參數。因此結果選擇的壽命參數為:漂移區少子壽命為8μs,緩沖層少子壽命為0.08~0.1μs,作為器件選擇的合理參數。

 

未完待續~

參考文獻:

[1] Murata, K. , et al. "Carrier lifetime control by intentional boron doping in aluminum doped p-type 4H-SiC epilayers." Journal of Applied Physics 129.2(2021):025702-.

[2] Tawara, Takeshi, et al. "Evaluation of Free Carrier Lifetime and Deep Levels of the Thick 4H-SiC Epilayers." Materials Science Forum (2004).

[3] Kato, Masashi, et al. "Surface recombination velocities for 4H-SiC: Temperature dependence and difference in conductivity type at several crystal faces." Journal of Applied Physics 127.19(2020):195702.

[4] Hahn, S. , et al. "Contact-less Electrical Defect Characterization of Semi-insulating 6H-SiC Bulk Material." International conference on silicon carbide and related materials; ICSCRM 2007 2009.

[5] Berger, Bastian , et al. "Contactless electrical defect characterization in semiconductors by microwave detected photo induced current transient spectroscopy (MD‐PICTS) and microwave detected photoconductivity (MDP)." Physica Status Solidi 208.4(2011):769-776.

[6] Hemmingsson, C. G, N. T. Son , and Janzén, E. "Observation of negative-U centers in 6H silicon carbide." Applied Physics Letters 74.6(1999):839-841.

[7] Suttrop, W., G. Pensl , and  P. Lanig . "Boron-related deep centers in 6H-SiC." Applied Physics A 51.3(1990):231-237.

 

掃一掃,關注公眾號

服務電話:

021-34685181 上海市松江區千帆路288弄G60科創云廊3號樓602室 wei.zhu@shuyunsh.com
Copyright © 2025束蘊儀器(上海)有限公司 All Rights Reserved  備案號:滬ICP備17028678號-2
日韩欧美一区二区三区在线_精品国产网站在线观看_欧美日韩精品系列_在线观看av一区二区_日韩欧美在线观看一区二区三区_欧美精品一区二区在线观看_色爱区综合激月婷婷_欧美色国产精品_91国产视频在线观看_{关键词10
欧美人伦禁忌dvd放荡欲情| 精品成人国产在线观看男人呻吟| 91看片淫黄大片一级| 一本久久综合亚洲鲁鲁五月天| 久久综合色鬼综合色| 免费成人你懂的| 欧美精品三级在线观看| 久久久99久久| 国产精品69毛片高清亚洲| 精品国产乱码久久久久久图片| 成人欧美一区二区三区| 激情成人中文字幕| 日韩欧美国产精品一区| 另类小说一区二区三区| 日韩一级片网站| 国产精品第四页| 91蜜桃在线观看| 欧美哺乳videos| 国产高清在线精品| 在线这里只有精品| 首页国产丝袜综合| 91精品中文字幕一区二区三区| 国产农村妇女毛片精品久久麻豆 | 久久在线观看免费| 精品无人码麻豆乱码1区2区 | 成人免费不卡视频| 欧美性做爰猛烈叫床潮| 日韩精品乱码免费| 精品久久久久久久久久久院品网| 一区二区中文视频| 一本色道久久综合亚洲91| 久久久美女艺术照精彩视频福利播放| 国产一区在线不卡| 欧美精品在线观看播放| 久久成人久久鬼色| 欧美性三三影院| 国产一区二区三区免费看| 欧美怡红院视频| 激情综合一区二区三区| 欧美日韩小视频| 国产乱码字幕精品高清av| 欧美日本视频在线| 国产69精品久久久久毛片| 欧美狂野另类xxxxoooo| 国产一区 二区| 日韩欧美亚洲一区二区| 成人在线视频一区| 久久综合久久久久88| 欧美日韩中国免费专区在线看| 欧美激情一区二区在线| 欧美性高清videossexo| 一区二区三区在线视频免费| 91精品国产综合久久久久久| 午夜伦理一区二区| 在线一区二区视频| 国产a久久麻豆| 精品捆绑美女sm三区| 日韩欧美a级成人黄色| 国产精品传媒入口麻豆| 日韩一区二区三| 免费成人结看片| 欧美一区午夜精品| 欧美视频在线看| 亚洲一级电影视频| 欧美三日本三级三级在线播放| 国产不卡免费视频| 国产欧美va欧美不卡在线| 3atv一区二区三区| 麻豆国产精品一区二区三区 | 色综合久久久久| 国产一区二区在线免费观看| 精品国产伦理网| 欧美影视一区在线| 欧美aa在线视频| 精品久久久久久久人人人人传媒| 色综合久久中文综合久久97| 香蕉乱码成人久久天堂爱免费| 欧美吻胸吃奶大尺度电影| 91亚洲大成网污www| 一区二区三区91| 制服丝袜一区二区三区| 日韩欧美第一页| 日韩国产在线观看| 欧美不卡一二三| 欧美一级日韩一级| 岛国av在线一区| 亚洲欧美日韩中文播放| 欧美午夜电影在线播放| 欧美日韩国产一区二区| 首页国产丝袜综合| 国产亚洲精品超碰| 在线免费观看视频一区| 91免费观看视频| 奇米精品一区二区三区在线观看一| 精品成人佐山爱一区二区| 欧美一区国产二区| 不卡的电影网站| 日韩av电影天堂| 亚洲国产精品成人综合| 欧美性大战久久久| 91福利小视频| 粉嫩aⅴ一区二区三区四区五区| 中文字幕亚洲一区二区av在线 | 7777精品伊人久久久大香线蕉完整版| 国模一区二区三区白浆| 亚洲欧美日韩人成在线播放| 日韩欧美中文一区| 日韩美一区二区三区| 精品久久久久久久久久久久久| 秋霞电影网一区二区| 日本一区二区三区久久久久久久久不 | 日本va欧美va精品发布| 国产日韩精品一区二区三区在线| 欧美午夜在线观看| 日韩一区二区三区电影在线观看 | 国产精品66部| 视频一区二区三区在线| 中文字幕中文字幕一区| 日韩免费看网站| 欧美午夜精品久久久久久孕妇 | 国产伦精一区二区三区| 婷婷中文字幕综合| 亚洲天堂网中文字| 久久久精品综合| 日韩一区二区在线播放| 欧洲亚洲国产日韩| 欧美一区二区三区免费大片| 色婷婷久久综合| 黄色成人av网| 成人网页在线观看| 国产精品资源在线观看| 男男成人高潮片免费网站| 亚洲国产欧美在线人成| 亚洲男同性视频| 国产精品久久久久久户外露出| 26uuuu精品一区二区| 欧美一级一级性生活免费录像| 欧美日韩黄色一区二区| 色成人在线视频| 色悠悠久久综合| 精品国产免费久久| 精品国产成人在线影院| 欧美精品在线观看一区二区| 在线一区二区视频| 在线免费观看日韩欧美| 色综合久久中文字幕| 色噜噜偷拍精品综合在线| 欧美日韩亚洲激情| 色老头久久综合| 91黄色免费网站| 欧美性一二三区| 欧美性感一区二区三区| 欧美美女黄视频| 欧美一区二区三区在线视频| 91精品国产综合久久精品| 欧美二区三区91| 欧美一区二区三区免费在线看| 日韩视频免费观看高清完整版在线观看 | 亚洲伦理在线精品| 一区二区三区在线高清| 亚洲国产精品一区二区久久| 亚洲国产精品尤物yw在线观看| 一区二区不卡在线播放| 婷婷久久综合九色综合绿巨人| 性做久久久久久免费观看| 日本成人在线电影网| 久久精品国内一区二区三区| 国产一区二区导航在线播放| 国产成人无遮挡在线视频| 大胆亚洲人体视频| 欧美性猛交丰臀xxxxx网站| 欧美影视一区在线| 欧美大片一区二区| 欧美日韩一区精品| 精品国产乱码久久久久久1区2区 | 日韩一级成人av| 国产欧美精品一区二区色综合| ㊣最新国产の精品bt伙计久久| 亚洲永久精品大片| 免播放器亚洲一区| 成人午夜av影视| 在线观看网站黄不卡| 日韩一区二区在线观看视频| 欧美自拍丝袜亚洲| 国产亚洲精品资源在线26u| 一区二区三区.www| 国内精品第一页| 在线一区二区视频| 色婷婷久久综合| 久久亚洲欧美国产精品乐播| 亚洲人成在线观看一区二区| 蜜臀99久久精品久久久久久软件 | 一区二区三区不卡在线观看| 青椒成人免费视频| 精品国产乱码久久久久酒店 | 欧美日韩亚洲系列| 精品日本一线二线三线不卡| 欧美一区二区福利视频| 亚洲人成亚洲人成在线观看图片 | 国产精品伦一区二区三级视频|